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自动探头系统

专为高压设计和大电流应用

•晶圆上高功率器件测量高达10kV/600A

•镀金卡盘表面，接触电阻最小

以及为薄片处理而优化的真空孔低至50µm

•Taiko晶圆卡盘选项

•专用高压和高电流探头

•防电弧解决方案